真空熱處理爐怎么抽真空? 2019-05-14 真空爐 1 個回答 最佳答案: 操作步驟如下:先羅茨泵啟動,打開前閥,關閉主閥和預抽閥,用按鈕啟動機械泵,當低真空規管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時,啟動預熱擴散泵,主閥和預抽閥仍處于關閉狀態,前泵機組對擴散泵抽真空,當低真空規管測量擴散泵前真空度高于規定值時,打開預抽爐內真空,先關前閥,并停羅茨泵,稍后找開預抽閥對爐內抽真空。爐內真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時,再啟動羅茨泵,前泵機組對爐內抽氣,使之達到預抽真空度。